据悉，尼康开发出了支持第7～8代玻璃基板尺寸的液晶显示器用曝光装置“FX-71S”、“FX-81S”，将于2005年秋季上市。通过由11个投影镜头构成的多镜头光学系统，一次扫描最大可曝光1枚57英寸宽屏面板、或2枚45英寸宽屏面板。随着曝光范围的增大，处理速度得到了提高。FX-71S（2000mm×2200mm）为384张/小时（42英寸宽屏面板）或294张/小时（48英寸宽屏面板），FX-81S（2200mm×2400mm）为384张/小时（45英寸宽屏面板）或240张/小时（52英寸宽屏面板）。曝光精度为3.5μm（g＋h＋i线）和3μm（i线），校准精度小于0.6μm，掩膜尺寸为1220mm×1400mm。（第三媒体 2006-06-28）